磁懸浮分子泵招標公告
| 發布時間 | 2024-05-16 | 項目編號 | 點擊查看 |
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招標正文 | 服務熱線：400-810-9688
1、具有半導體行業應用經驗； 2、需求數量：2臺； 3、技術指標： 接口法蘭：ISO-F；通徑：DN200 抽速：1360 l/s（N2），1280 l/s（Ar)，940 l/s（He），540 l/s（H2） 壓縮比:1E8（N2、Ar）,4E4（He），5E2(H2） 最終壓力：<6×10-9 mbar 整體漏率：<5×10-8 hPa·l/s 啟動時間：≤6 min 冷卻方式：水冷 驅動方式：外置電子驅動單元 工作電壓：200?240 VAC (±10 %)，50/60 Hz 4、聯系人：楊先生，電話*。
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